---
---
---(點擊查看產(chǎn)品報價)
本文標(biāo)題："磨擦劃痕與背隙孔隙率測量影像測量工具顯微鏡"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-9-25 22:01:02 本站主頁地址：http://www.027toilet.cn
磨擦劃痕與背隙孔隙率測量影像測量工具顯微鏡
微奈米精密對位(Alignment)是平面顯示器或相關(guān)精密產(chǎn)品制程中非常普遍
需要的基本動作功能，此精密對位的對位精準(zhǔn)度與作動反應(yīng)速度，對整部制
程設(shè)備的性能具關(guān)鍵性之影響。針對精密對位傳統(tǒng)上大致皆應(yīng)用一般伺服定
位系統(tǒng)，然一般伺服定位系統(tǒng)常因傳動機構(gòu)之庫 倫靜磨擦與背隙效應(yīng)而讓運
動分辨率及控制性能大為受限，壓電驅(qū)動精密對位由于絕佳運動分辨率及高
剛性而被視為是一相當(dāng)有效的解決之道。
然壓電驅(qū)動精密對位仍有兩大問題:
1.壓電致動器具遲滯、潛變、飽和等非線性特性，
2.(2)對位之基準(zhǔn)大多為被對位物件上之光學(xué)標(biāo) 記，
3.有賴顯微視覺加以量測回授。本研究之目的即在克服壓電致動器之遲滯、
4.潛變、飽和等非線性問題，使其控制性能更佳，
5.并與顯微視覺量測回授整合而成精密對位系統(tǒng)。
為此本研究建構(gòu)提出一新創(chuàng)之壓電驅(qū)動非線性模型，模型簡潔、具物理意義、易設(shè)計其
反遲滯電路、 并具相當(dāng)精確性
所有資料用于交流學(xué)習(xí)之用，如有版權(quán)問題請聯(lián)系，禁止復(fù)制,轉(zhuǎn)載注明地址
上海光學(xué)儀器一廠-專業(yè)顯微鏡制造商 提供最合理的顯微鏡價格
合作站點：http://www.sgaaa.com/顯微鏡百科