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本文標(biāo)題："膜厚量測是使用經(jīng)校正的橢偏儀量測"
新聞來源：未知 發(fā)布時(shí)間：2013-5-29 0:36:46 本站主頁地址：http://www.027toilet.cn
膜厚量測是使用經(jīng)校正的橢偏儀量測
高頻超音波量測技術(shù)：
光學(xué)接收系統(tǒng)的實(shí)驗(yàn)
將超音波激發(fā)探頭放置在試片背面，利用探頭產(chǎn)生高頻的超音波，驗(yàn)證干涉儀是否可以偵測出超音波訊號。
當(dāng)探頭產(chǎn)生超音波后，在試片中的超音波會(huì)傳至接收點(diǎn)的位置，
其中在時(shí)間 4μs 附近到達(dá)的波群為探頭本身訊號，緊接其后的訊號即是試
片的超音波訊號，此訊號可以由波傳路徑的時(shí)間來推論。利用超音波訊號的頻譜分析，
由圖中可得出偵測系統(tǒng)的頻寬略大于 90 MHz
為了進(jìn)一步得出更精確的超音波實(shí)驗(yàn)結(jié)果，
薄膜試片委請 PTB 使用 IWS的超音波裝置量測，并紀(jì)錄原始結(jié)果供將來研究參考，試片樣本是 SiO2 薄膜鍍于 Si 110
on 001 的基材上，圖 2-5 是超音波波傳速度的頻散曲線以及不同頻率時(shí)對應(yīng)的訊號強(qiáng)度，
圖的試片膜厚是 1000 nm，膜厚量測是利用經(jīng)校正的橢偏儀量測
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