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本文標題："掃描探針顯微鏡測量速度低橫向分辨率則高"
新聞來源：未知 發布時間：2016-7-3 16:49:25 本站主頁地址：http://www.027toilet.cn
掃描探針顯微鏡測量速度低橫向分辨率則高
掃描探針顯微鏡和探針輪廓儀，然后圍繞著近十五年來發展起
來的、在商業和工業上得到應用的光學技術進行了詳細的介紹。這
部分內容包括單色光及白光照明干涉顯微鏡，白光和多波長技術也
常常應用于其他測量方法，比如散斑、全息及條紋和結構光投影過
程。最后還針對光學測距技術和偏振干涉儀作了簡短的評述。接觸
式輪廓儀
探針輪廓儀和掃描探針顯微鏡，通常都稱為接觸式輪廓儀或者
觸摸式傳感器，因為它們都是使用一個探針來對測量對象的表面進
行掃描。現在，施加在探針尖上的力已經非常小了，以至于很難再
將其稱為接觸式儀器。這類儀器的測量速度很低，橫向分辨率則相
當高，不過一般來說低于光學顯微鏡。作為最早得到發展的探針輪
廓儀，其制造成本不高，也便于使用，因此在許多機械和光學車間
中作為標準配備。掃描探針顯微鏡的發展要相對晚一些，但是由于
其具有亞納米量級的縱向和橫向分辨率，現在該設備在實驗室和半
導體及微機電系統(MEMS)工業中已經被普遍使用。測量大口徑元件
的剖面可以使用較大探針坐標測量儀，該儀器能夠在掃描模式下工
作。
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