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本文標題："掃描電鏡的顯微圖象或者是光截面的圖形測量顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2015-7-12 21:22:46 本站主頁地址：http://www.027toilet.cn
掃描電鏡的顯微圖象或者是光截面的圖形測量顯微鏡
——為修正超差的零件，在制造工藝方面會引起多大的變革？
本文中得出的論點將協助工程師在回答這些問題的前三點時，
提供一個正確的選擇，后兩個問題也同樣重要和有意義，但是這
里交示討論，因為僅回答這些問題就要深深涉及某個特有的零件
和工藝過程的細節。
1、一臺測量儀器或轉換器可以把表面形貌變換為某種形式的
、供數據處理用的圖象，當轉換器的靈敏元件掃過校驗樣板表面
的柵格紋路時，所獲得的現今最通常的圖象形式是一個電壓信號
，然而，圖象形式同樣也可能是一個干涉圖形，一個掃描電鏡的
顯微圖象或者是光截面的圖形。
2、分析裝置用于處理表面的圖象，以便能表示形貌的特征或
用簡便的方法展示形貌。
3、數據顯示可包括從簡單的模擬指示計延伸到復雜的計算機
繪圖終端——能顯示表面形貌的等距三維影像圖或其特性曲線。
觸針式儀器在實際應用中有相反的特點：它必須和表面接觸、
校驗困難，但是數據分析容易并且直截了當。
為了推進精車加工過程的自適應控制，必須在與加工過程有關
的數據測取方面取得重要的進展，因此，必須解決與合適的傳感
器的設計和改進有關的許多問題，本文探討了用光學纖維傳感器
在精車加工過程中測量表面粗糙度的可能性，并簡要地描述了傳
感器的工作原理。
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