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本文標(biāo)題:"金屬化圖形表面的粒狀物粗糙度測量顯微鏡"

新聞來源:未知 發(fā)布時間:2015-6-23 1:09:26 本站主頁地址:http://www.027toilet.cn

金屬化圖形表面的粒狀物粗糙度測量顯微鏡

    由于電子轟擊效應(yīng)或者與等離子體的相互作用,玻璃
也能去氣。

    當(dāng)制造薄膜型儀器或金屬化圖形時,將金屬蒸發(fā)或濺
射到玻璃上面,上述現(xiàn)象是很重要的。

    表面的粒狀物質(zhì)由于表面普遍存在粒子污染,所以凈
化問題急需解決。其原因是對電子器件所需潔凈度,以及
怎樣徹底清除粒子的技術(shù)了解甚少,只認(rèn)為這是一般的問
題。

    雖然有了高效過濾器,并在潔凈室的設(shè)計中得到了應(yīng)
用,但是,要使表面完全沒有灰塵或其它粒狀物質(zhì),實際
上這是不可能的。即使只在層流罩內(nèi)放幾天,在顯微鏡黑
色管筒上也能看到粒狀物質(zhì)。同樣,將硅片在標(biāo)準(zhǔn)罩內(nèi)存
放一星期,由于選擇性的粒子污染,硅表面出現(xiàn)了鈉原子。

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