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本文標題："掃描電子顯微鏡應用于極細微元件測量"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-4-15 21:44:31 本站主頁地址：http://www.027toilet.cn
掃描探針顯微技術(shù)(Scanning Probe Microscope，SPM)在結(jié)合奈米制造技術(shù)后所研發(fā)出奈米量測技術(shù)
最新的成果。因為奈米元件在制造過程中(奈米制造技術(shù))以及各種 相關(guān)技術(shù)的發(fā)展上都會需要量測做支援，所以觀測奈米元件的技術(shù)
(奈米量測技術(shù))對整個奈米技術(shù)的發(fā)展是不可或缺的。以這種觀點為出發(fā)點，
期待掃描探針顯微技術(shù)(SPM)可以發(fā)展成將奈米量測技術(shù)、奈米制造技術(shù)以及探索奈米級物質(zhì)特性技術(shù)
這三種技術(shù)加以融 合重整為一多功能整合性技術(shù)。
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