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本文標題:"原子力學顯微鏡(AFM)和金相顯微鏡在薄膜特性量測實驗的作用"

新聞來源:未知 發布時間:2012-6-13 1:43:26 本站主頁地址:http://www.027toilet.cn

原子力學顯微鏡(AFM):
              觀察薄膜三維空間的表面型態,原子力學顯微鏡是一非破壞性的表面分析儀,利用圖像分析可得薄膜之表面粗糙度及奈米結構的尺寸分佈。在本研究中是觀察Ni崁入式ITO之表面型態以及表面粗超度,又觀察Ni崁入式ITO試片之Ni與ITO部分。
           金相顯微鏡(OM):
金相顯微鏡之觀察主要為經過黃光制程Lift-off制作的Ni嵌入式ITO的點狀槽。

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