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新聞來源:未知 發布時間:2012-4-21 0:41:50 本站主頁地址:http://www.027toilet.cn

以測試光于投射于待測物后在光學系統上所誘發角度偏向并結合CCD光強影像分析來描繪出其三維表面形貌。因待測物的表面輪廓變化正比于平行四邊形二次內反射率,且反比于二次內反射率對外角間之斜率,最后我們得到s偏光曲線反射率對外角的斜率的較為平緩,其角度靈敏度較小,但可量測之縱向高度范圍較大,所得之表面形貌變化反應較為緩和與真實。雖然p偏光曲線反射率對外角斜率較為陡峭,其角度靈敏度較高,但可量測之縱向高度范圍較小,所得之表面形貌變化反應較為強烈。由一個物鏡與一個透鏡所形成之共焦透鏡組合加入實驗架構讓行經透明待測物之光線不因待則物表面變化而導致入射CCD之光線發生發散或收斂之現象,最后造成量測不準的情形。而且本系列研究囊括穿透式與反射式架構,放大倍率可從十幾倍到一千多倍,并可視待測物大小調整倍率。其優點為非破壞性、非接觸性量測,無干涉,因此不需有繁複的相位解析,且組裝容易,易于操作又可作即時大面積之表面形貌量測。

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