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本文標題："問如何測量真空濺鍍膜厚或量測濺鍍層的膜厚？"
新聞來源：未知 發布時間：2011-12-6 0:06:34 本站主頁地址：http://www.027toilet.cn
請問真空濺鍍膜厚要如何量測？
我是濺鍍鋁材，請問如何確認或量測濺鍍層的膜厚。
以下的方法給您參考看看：
1. 如果你所使用的濺鍍機有裝石英震盪式監控器，可以在製程中監控你要的膜厚。
2. 鍍膜的同時搭一片測試片，鍍膜完成后以表面輪廓描繪儀(Surface Profiler)
量測膜厚。由于表面輪廓描繪儀是利用探針在試片表面感應起伏，所以測試片表面
需保留部分區域未被濺鍍，才能量測薄膜的高低差(膜厚)，最簡單的方式是在測試
片部分區域貼真空膠帶，或者透過黃光製程，用光阻在測試片表面製作簡單的圖形。
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