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本文標題："光刻工藝制作電子材料焊點質量檢測顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2017-5-16 1:06:56 本站主頁地址：http://www.027toilet.cn
光刻工藝制作電子材料焊點質量檢測顯微鏡
傳統的電子系統一般是利片J刪減式光刻工藝制作。在任意電子材
料中(如導體、二極管或者半導體)構建圖案的過程一般如下：(1)
在基質層上沉積電子材料．沉積通常采用真空條件下的化學氣相沉
積或者物理氣相沉積；(2)隨后基底用光刻膠涂覆；(3)光刻膠通過
掩膜暴露于光刻系統中；(1)光刻膠在基底的掩模區域顯影用于移
除抗蝕劑；(5)利用濕化學法或干刻蝕法(如等離子)刻蝕去除沉積
的薄膜；沉積的薄膜只在先前光刻膠被顯影移除的區域被刻蝕；(6
)將剩余的光刻膠剝離使薄膜暴露；(7)最后。將基底清洗移除光刻
和刻蝕過程中的殘余雜質。這七個步驟的掩膜和刻蝕過程重復多次
，最終得到復雜的沒備和電路。
上述技術稱為刪減式方法，因為圖案是通過“移除”材料而獲
得的。這種刪減式過程需要多個步驟才能制作出一個單一的圖層。
由于完成這一復雜t藝需要合適的儀器，增加了整個過程的復雜性
．同樣也增加了成本支出。
一般而言，印刷技術，特別是噴墨打印技術，是一種潛在的替
代性生產技術．它是一種增材制造技術。在增材制造過程中。沉積
技術用于直接沉積薄膜。從概念上來說，印刷工藝將上述七個步驟
減少到單獨一個步驟。噴墨打印是增材印刷技術的一個典型的例子
，油墨可以印在所要求的地方。
基于上述各步工藝的分析，能比較出印刷電子品相對于傳統的
微電子制造過程的優缺點。由于印刷電子產品能降低整個工藝過程
的復雜性，有望減少生產過程的成本支出，并且與塑料或箔片等低
成本，大面積基質的兼容性也較為出色。因此，印刷電子單位面積
相比于刪減式的光刻技術，成本可能要低一至三個數量級。但另一
方面，在傳統微電子應用中，光刻技術的線條寬度能夠達到約50 n
m，而在大面積顯示應用中能達到1～3μm。而最先進的工業化噴墨
打印機只能達到20μm，甚至在研究中，將噴墨打印的線條縮窄至1
μm以下也極具挑戰性。因此，盡管印刷電子的單位面積成本有望
比刪減式硅處理的方法低很多，但是相比于傳統微電子中每個晶體
管的成本則要高很多．這是因為傳統微電子中每個晶體管非常小。
所以．很容易總結了印刷電子發展的可能的推動力。印刷電子
作為一種生產電子系統的方式具有很大的吸引力，因為它在單位面
積上的成本具有較大的優勢。但是因為印刷電子的線條寬度無法令
人滿意，上述的優勢只在那些集成度較低的系統中存在，例如在那
些不需要密集的晶體管陣列的系統中。印刷電子也有望使用低成本
，可彎折的基底，例如塑料以及金屬箔片。此外，通過在同一臺打
印機上使用不同的油墨，也將一系列材料較為容易地在特定空間中
沉積在基質。
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