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本文標題："表面檢測的懸臂工件檢測工業顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2016-5-21 0:16:28 本站主頁地址：http://www.027toilet.cn
振動掃描方式
振動掃描(VS)方式應用探針系統獲得表面形狀，在探針和
物體之間應用電子接觸原理。眾所周知電子接觸式檢測再現性精度
不高，因此這種類型的檢測不能用于尺寸測量。在幾個例子的應用
中發現，工件只能安裝在中等精度的機床中。
振動掃描方式和傳統的電子接觸方式之間的不同是，振動掃描方式的應用來
源于接觸探針振動的間斷接觸。
振動掃描方式的基本原理。用于表面檢測的懸臂在較低頻
率下振動，目的是避免機械共振。振幅被調節到大約2μm。當懸臂
接近表面時，其頂端與表面間斷地接觸。此接觸產生一系列的矩形
波作為輸出。探針移動和輸出信號間的關系。脈沖的持續時間根據
振動中心與表面間的距離，或探針位置的X坐標的變化而變化。如
果探針的位置被控制，以保持不變的輸出工作循環，例如，50％，
當探針在縱向或y方向運動時，振動的中心也就沿著物體表面的曲
線移動。儲存探針在X，y方向的數據就相當于儲存物體表面曲線的
數據。
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